Optik seri lineer platform
2. Maksimum yükleme 4 kg'a kadardır
3. Yüksek hassasiyetli 1 nm ve standart 100 nm tipik çözünürlük
Optik algılama elemanı, konum geri bildirimi için çekirdek olarak uygulanır. Bu ürün serisi, yüksek hassasiyetli konumlandırma ve hareket kontrolü gerektiren her türlü uygulama için uygundur. Yalnızca güvenilir ve istikrarlı konumlandırma yetenekleri değil, aynı zamanda çeşitli çözünürlük seçenekleri de içerir.
Minimum artımlı hareket (Standart Lineer Seri)
Minimum artımlı hareket (Yüksek Hassasiyetli Lineer Seri)
Motion Performance
|
Maks. hız
|
10 mm/s
|
10 mm/s
|
|
Kodlayıcı seçeneği
|
Açık döngü
|
Kapalı döngü
|
|
Kodlayıcı çözünürlüğü
|
N/A
|
0.1 µm (Standart Seri)
1 nm (Yüksek Hassasiyet Serisi) |
|
Min. artımlı hareket
|
N/A
|
0.3 µm (Standart Seri)
15 nm (Yüksek Hassasiyet Serisi) |
|
Çift yönlü tekrarlanabilirlik
|
N/A
|
0.5 µm (Standart Seri)
50 nm (Yüksek Hassasiyet Serisi) |
Mechanical Properties
Options
|
Malzeme
|
Standart olarak anodize alüminyum; Paslanmaz çelik
|
|
Vakum
|
Standart olarak atmosferik ; HV (1E-6 mbar)
|
|
Ev fonksiyonu
|
Evet
|
|
Limit fonksiyonu
|
Evet
|
